當前市場大量平價反射膜厚儀僅搭載單一鹵素光源，光譜區間僅 400~1100nm 可見光近紅外波段，缺失 190~400nm 深紫外關鍵波段，存在先天檢測盲區。紫外波段是 20~100nm 超薄氧化膜、光刻膠、有機透明涂層的核心識別波段，缺少紫外光會導致超薄薄膜干涉信號微弱、多層復合膜分層解析失效，僅能檢測 50nm 以上單層厚膜，半導體、紫外光學元件、新能源超薄涂層等場景無法使用，企業需額外采購專用紫外測厚設備，采購與運維成本翻倍。單一光源光譜存在斷層，梯度膜、多層濾光膜擬合誤差大，無法同步解析每層膜光學常數，研發與量產檢測效率極低。